د وارپډ ویفر اداره کولو لپاره د سوري سیرامیک ویکیوم چک
د سینټ سیرا سوري سیرامیک چک د لوړ پاکوالي الومینا څخه جوړ شوی چې د 30-45٪ یونیفورم خلاص سوري لري او د سوري اندازه یې له 10 څخه تر 100 μm پورې ده. د دودیزو نالی شوي چکونو برعکس، سوري سطحه د ټول ویفر شاته برخه کې ویشل شوی خلا چمتو کوي، په مؤثره توګه د څنډې پورته کولو یا ماتیدو پرته تاو شوي، پتلي، یا واحد ویفرونه ساتي. نرم ویکیوم (د محدودونکي له لارې تنظیم کیدونکی) د شاته برخې نښه کولو مخه هم نیسي.
مشخصاتو(د 99.6٪ Al پر بنسټ₂O₃):
| ملکیت | ارزښت |
| سوروالی | ۳۰-۴۵٪ |
| د سوري منځنۍ اندازه | ۱۰-۱۰۰ مایکرو متر (د انتخاب وړ) |
| انعطاف منونکی ځواک | ≥۲۵۰ MPa |
| هواروالی (له ۳۰۰ ملي میتره څخه زیات) | ≤5 مایکرو متره |
| د سطحې پای | لپ شوی (Ra 0.8 μm) |
| د خلا اعظمي کچه | -۸۰ kPa |
| د عملیاتي تودوخې درجه | ۴۰۰ درجو سانتي ګراد (هوا)، ۶۰۰ درجو سانتي ګراد (غیر فعال) |
| د موادو | 99.6% Al₂O₃، ZrO₂، یا SiC |
غوښتنلیکونه:
نری ویفر (≤50 μm) د شا اړخ پیس کول
د کاڼو د پرې کولو لپاره د تاو شوي ویفر نصب کول
د ټیپ څخه د واحد ډای پیک اپ
د شیشې تختې اداره کول
تولید او کیفیت:
د سیرامیک پوډر د عضوي سوریو فارمرونو سره مخلوط شوی → فشار شوی → سینټر شوی → د وروستي ضخامت پورې لیپ شوی. هر چک د ویکیوم یونیفورم (≤5٪ انحراف) لپاره د جریان ازموینه کیږي او د سوریو اندازې ویش (SEM) لپاره معاینه کیږي. د لیزر انټرفیرومیټر سره فلیټنس اندازه کیږي.
د ګرووډ چکونو په پرتله ګټې:
د ویفر څنډې نښه کول یا د مرۍ بدلون نشته
تاو شوي ویفرونه ساتي (تر 500 μm پورې کمان)
د ویکیوم سوري بندښت له منځه وړي
د پتلو سبسټریټونو لپاره د ځان سطحي ملاتړ
دودیزول:
ګرد یا مستطیل شکلونه، تر 600 ملي میتره پورې اندازه. موږ کولی شو د څنډې سیل کولو حلقې یا د زون ویکیوم برخې پلي کړو. د لوړ سختۍ اړتیاو لپاره د فلزي ملاتړ شوي نسخې شتون لري.
د خپل ویفر اندازې او وار پاڼې ازموینې لپاره د نمونې غوښتنه وکړئ.
