د CVD/PVD شاور هیډ لپاره د الومینا ګاز ویش پلیټ
د سینټ سیرا د ګازو د ویش پلیټ (شاور هیډ) د لوړ پاکوالي 99.8٪ ایلومینا سیرامیک څخه په دقیق ډول ماشین شوی دی. دا د مایکرو سوریو لړۍ (قطر 0.3-1.5 ملي میتر) لري چې د CVD، PVD، یا ALD پروسو په جریان کې د ویفر سطحې په اوږدو کې د ګاز یونیفورم جریان ډاډمن کوي. د پلیټ لوړ ډایالټریک ځواک (>15×10⁶ V/m) او د پلازما مقاومت دا د سیمیکمډکټر پتلي فلم زیرمو لپاره اړین کوي.
مشخصات:
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | ۹۹.۸٪ Al₂O₃ یا SiC |
| قطر | ۱۰۰ - ۱۵۰۰ ملي متره (ګرد) یا مستطیل |
| ضخامت | ۵ - ۲۰ ملي متره |
| د سوري قطر | ۰.۳ – ۱.۵ ملي متره |
| د سوري نمونه | دودیز (مثلثي، مربع، شعاعي) |
| هوارتیا | په ټوله ساحه کې ≤10 μm |
| د سطحې ناهمواروالی | را ≤0.6 μm (د ګاز اړخ) |
| د خلاصې ساحې تناسب | ۵-۱۵٪ |
غوښتنلیکونه:
د PECVD شاور هیډ پلیټونه
د ALD ګاز انجیکټرونه
د ایچ چیمبر ګاز ویش پلیټونه
د MOCVD ری ایکټر اجزا
جوړول:
د ایلومینا سبسټریټ فلیټ لیپ شوی → د الماس پوښل شوي وسیلو سره د CNC برمه کول (د سوري موقعیت زغم ± 0.02 ملي میتر) → د ډیبرینګ → الټراسونیک پاکول → د 100 ټولګي بسته بندي.
د کیفیت کنټرول:
هر پلیټ د سوري اندازې (د لید سیسټم)، فلیټ (لیزر انټرفیرومیټر)، او د ګاز جریان یووالي (د فشار نقشه) لپاره 100٪ معاینه کیږي. د 20x مایکروسکوپ لاندې هیڅ مایکرو درزونه نشته.
د فلزي تختو په پرتله ګټې:
په نری فلمونو کې هیڅ فلزي ککړتیا نشته
د ذراتو تولید ټیټ (د زنګ وهلو فلیکس نشته)
د تیریدونکي پاکولو پلازما (CF₄، NF₃) په وړاندې مقاومت کوي
دودیز ځانګړتیاوې:
د ګازو شاته چینلونه، د کاونټر بور سوري، د څنډې مهرونه، او د موادو مختلف درجې (د لوړې تودوخې چالکتیا لپاره SiC، د پلازما مقاومت لپاره Y₂O₃ کوټینګ).
موږ د تولید څخه دمخه د CAD تایید او د جریان سمولیشن چمتو کوو.
