د CVD / PVD پروسس چیمبرونو لپاره د لوړ پاکوالي الومینا سیرامیک حلقه جوړونکي او عرضه کوونکي

د CVD / PVD پروسس چیمبرونو لپاره د لوړ پاکوالي الومینا سیرامیک حلقه

لنډ معلومات:

د سینټ سیرا سیرامیک حلقه په ځانګړي ډول د CVD (کیمیاوي بخار زیرمه) او PVD (فزیکي بخار زیرمه) پروسس چیمبرونو کې د کارولو لپاره ډیزاین شوې. د 99.8٪ لوړ پاکوالي الومینا (Al₂O₃) څخه جوړ شوی، دا حلقه د چیمبر لاینر، فوکس حلقه، یا د پروسس کټ برخې په توګه کار کوي ترڅو پلازما محدود کړي او د چیمبر دیوالونه له تخریب څخه خوندي کړي. دا مواد غوره پلازما مقاومت، لوړ ډایالټریک ځواک (15×10⁶ V/m)، او تر 1600 ° C پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي، چې په تیریدونکي فلورین پر بنسټ پلازما چاپیریال کې اوږد خدمت ژوند تضمینوي. دقیق ابعادي زغم (±0.05 ملي میتر په ID/OD) او فلیټنس (≤10 μm) د ویفر څنډې دوامداره موقعیت فعالوي، د زیرمو یووالي ښه کوي او د ذراتو تولید کموي.

موږ ته بریښنالیک واستوئ

د محصول تفصیل

د محصول ټګونه

مشخصات (د 99.8٪ Al₂O₃ پر بنسټ):

ملکیت	ارزښت
د موادو	۹۹.۸٪ الومینا (عاج)
کثافت	۳.۹۳ ګرامه/سانتي متره
د اوبو جذب	0%
انعطاف منونکی ځواک	۳۶۱ میګاپیکله
د فریکچر سختوالی	۳–۴ MPa·m¹/²
د ویکرز سختۍ	۱۶ جي پي اې
د ځوان ماډول	۳۸۰ جي پي اې
د تودوخې چلښت	۳۲ واټه/متر کیلو متره
د تودوخې پراخوالی (۲۵-۱۰۰۰ درجو سانتي ګراد)	۷.۲×۱۰⁻⁶/℃
ډایالټریک ځواک	۱۵×۱۰⁶ وولټ/متر
ځانګړی مقاومت	>۱۰¹⁴ Ω·سانتي متره
د اعظمي عملیاتي تودوخې درجه	۱۶۰۰ درجې سانتي ګراد

غوښتنلیکونه:

· د CVD چیمبر فوکس حلقې او د څنډې حلقې
· د PVD چیمبر شیلډ حلقې او د کلیمپ حلقې
· د ایچ چیمبر لاینرونه او د پوښ حلقې
· په ډایالټریک ایچ سیسټمونو کې د پلازما کنفیننټ حلقې

د تولید پروسه:

ایزوسټاټیک پریسینګ → شنه ماشینینګ → په 1600 درجو سانتی ګراد کې سینټرینګ → د CNC ID/OD ګرینډینګ → د سطحې لیپینګ → الټراسونک پاکول → 100٪ CMM تفتیش. د سطحې الټراسونک پای (Ra ≤0.4 μm) د ذراتو چپکولو کموي.

د کیفیت کنټرول:

· ۱۰۰٪ ابعادي چک (ID، OD، ضخامت، پلنوالی)
· د سطحې مایکرو درزونو لپاره د رنګ ننوتلو معاینه
· د ASTM D149 له مخې د ډایالټریک ځواک ازموینه
· د ۲۰ × مایکروسکوپ لاندې هیڅ ښکاره رنګ یا سوری نشته

د فلزي یا کوارټز حلقو په پرتله ګټې:

· په فلورین پلازما کې د المونیم حلقو په پرتله 5-10× اوږد ژوند
· په نری فلمونو کې د فلزاتو ککړتیا نشته
· د کوارټز په پرتله د پلازما لوړ مقاومت (د تخریب کندې نشته)
· د اوږدې مودې کارونې وروسته هم د 10¹⁴ Ω·cm څخه زیات بریښنایی موصلیت ساتي

بدیل مواد — سیلیکون نایټرایډ (Si₃N₄):

د هغو غوښتنلیکونو لپاره چې حتی لوړ فریکچر سختۍ (6.2 MPa·m¹/²) او غوره حرارتي شاک مقاومت (د پراختیا کوفیفینټ 3.2×10⁻⁶/℃) ته اړتیا لري، Si₃N₄ حلقې شتون لري. په هرصورت، د ډیری CVD/PVD غوښتنلیکونو لپاره الومینا ډیر ارزانه دی. مهرباني وکړئ د امر کولو پرمهال د موادو غوره توب مشخص کړئ.

دودیزول: