د سیمیکمډکټر پروسې فکسچر لپاره د سیرامیک ملاتړ پن
د سینټ سیرا سیرامیک ملاتړ کونکي پنونه (چې د لفټ پنونو یا ملاتړ پنونو په نوم هم پیژندل کیږي) د سیمیکمډکټر پروسې چیمبرونو کې کارول کیږي ترڅو د مینځلو، تودوخې یا یخولو پرمهال ویفرونه یا سبسټریټ لوړ کړي. د 99.8٪ ایلومینا یا سیلیکون نایټرایډ څخه جوړ شوي، دا پنونه لوړ فشاري ځواک، حرارتي ثبات، او کیمیاوي مقاومت وړاندې کوي. د نیمه کرې یا فلیټ ټیپ ډیزاین د ویفر سکریچ کولو مخه نیسي.
مشخصاتو(الومینا ۹۹.۸٪):
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | ۹۹.۸٪ Al₂O₃ یا Si₃N₄ |
| اوږدوالی | ۱۰ - ۱۰۰ ملي متره |
| قطر | ۱ – ۱۰ ملي متره |
| د نوک شکل | فلیټ، نیم کره، نوکدار |
| د فشار ځواک (Al₂O₃) | >۲۰۰۰ میګاپیکله |
| د اعظمي عملیاتي تودوخې درجه (Al₂O₃) | ۱۶۰۰ درجې سانتي ګراد |
| د سطحې پای | لپ شوی (Ra ≤0.4 μm) |
| په قطر کې زغم | ±0.01 ملي متره |
غوښتنلیکونه:
په CVD/PVD چیمبرونو کې د پورته کولو پنونه
د ګرم پلیټ پخولو لپاره د ملاتړ پنونه
د پروب کارت ملاتړ جوړښتونه
د کوارټز فرنس کښتۍ ملاتړ کوي
جوړول:
د OD دقیق مرکز پرته پیس کول → د ټیپ پروفایل د الماس پیس کول → الټراسونیک پاکول → 100٪ ابعادي تفتیش.
د کیفیت کنټرول:
د اوږدوالي/قطر لپاره CMM، د سر د وړانګو لپاره نظري پرتله کوونکی، د فشاري ځواک تصدیق کولو لپاره د بار ازموینه (په هر لاټ کې تصادفي نمونه). هیڅ فیرومقناطیسي ککړتیا نشته (د مقناطیس سره تایید شوی).
د فلزي یا کوارټز پنونو په پرتله ګټې:
د سټینلیس سټیل په پرتله پنځه ځله اوږد ژوند
د پروسې په خونه کې د فلزاتو ککړتیا نشته
د کوارټز په پرتله د تودوخې لوړه وړتیا (۱۶۰۰ درجو سانتی ګراد د ۱۱۰۰ درجو سانتی ګراد په مقابل کې)
غیر چپکونکې سطحه (د ذراتو چپکولو کموالی)
دودیزول:
د څو نوکونو پروفایلونه، تار لرونکی اساس، یا مخروطي شافټ.
موږ د سخت پلازما چاپیریال لپاره د SiC پنونه هم چمتو کوو.
