د ټیفلون پوښل شوی سیرامیک پای اغیز کوونکی - د حساس ویفر اداره کولو لپاره غیر چپکونکی سطح

د سینټ سیرا ټیفلون (PTFE) پوښل شوی سیرامیک پای اغیز کوونکی د لوړ ځواک الومینا سبسټریټ د یونیفورم، ټیټ رګ PTFE پوښ سره یوځای کوي (ضخامت 15-30 μm). دا پوښ د رګیدو خورا ټیټ ضخامت (≤0.1)، غوره کیمیاوي مقاومت، او غیر چپکونکي ملکیتونه چمتو کوي، د ویفر چپکولو مخه نیسي او د شا ککړتیا له منځه وړي. د سیرامیک لاندې سبسټریټ (99.8٪ Al₂O₃) لوړ انعطاف ځواک (361-1000 MPa)، د اغوستلو مقاومت، او تر 260 درجو سانتي ګراد پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي (د کوټینګ حد). دا پای اغیز کوونکی د نازک، پتلي، یا چپکونکي ویفرونو اداره کولو لپاره مثالی دی (د مثال په توګه، د فوتوریزیسټ کوټینګ یا کیمیاوي پروسو وروسته).

مشخصاتو (د PTFE کوټینګ سره د 99.8٪ Al₂O₃ سبسټریټ پراساس):

یادونه: د PTFE کوټینګ اعظمي تودوخه تر 260 درجو سانتی ګراد پورې محدودوي؛ د لوړې تودوخې غوښتنلیکونو لپاره، غیر پوښل شوي سیرامیک یا نور کوټینګونه په پام کې ونیسئ.

غوښتنلیکونه:

• · د فوتوریزیسټ کوټینګ وروسته د ویفرونو اداره کول (چپچپا سطحې)
• · د نري یا نازک ویفرونو لیږدول (د چپکیدو مخه نیسي)
• · د سیمیکمډکټر تفتیش او میټرولوژي وسایل
• · د پاکو خونو اتومات کول چیرې چې د ذراتو ککړتیا باید کمه شي

د تولید پروسه:

د سیرامیک سبسټریټ سینټر شوی او دقیق ځمکه → د سطحې خړوالی (پلازما ایچ یا ګریټ بلاسټ) → د PTFE سپری کوټینګ → د 380 درجو سانتی ګراد په تودوخې کې درملنه → وروستۍ معاینه. هر پای انفیکټر د کوټینګ ضخامت (ایډي جریان)، چپکولو (کراس کټ ټیسټ ASTM D3359)، او د رګیدو ضخامت لپاره چک کیږي.

د کیفیت کنټرول:

د پن هولونو یا بلبلونو لپاره ۱۰۰٪ بصري معاینه؛ د پوښ ضخامت یوشانوالی د ±۵ μm دننه؛ د شاهد کوپن کې د ۹۰ درجې خم ازموینې وروسته هیڅ ډیلامینیشن نشته. د OEM زغم ته ابعادي چک (اوږدوالی ±۰.۰۵ ملي میتر، فلیټنس ≤۰.۱ ملي میتر).

د غیر پوښل شوي یا نورو پوښونو په پرتله ګټې:

• · غیر چپکونکې سطحه د ویفر د چپکیدو او ماتیدو مخه نیسي
• · د سیرامیک پوښونو په منځ کې د رګیدو ترټولو ټیټ ضریب
• · غوره کیمیاوي مقاومت (تیزابونه، اساسات، محلولونه)
• · د موادو د لیږد مخنیوي سره د ذراتو تولید کموي

محدودیتونه (د موادو د انحراف په اړه تبصرې):

د PTFE کوټینګ د چمتو شوي موادو ملکیت جدولونو څخه نه دی اخیستل شوی (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). د سبسټریټ ملکیتونه په کلکه د چمتو شوي ډیټاشیټ (99.8٪ Al₂O₃) تعقیبوي. د کوټینګ ملکیتونه د صنعت معیاري PTFE مشخصاتو پراساس دي، ځکه چې د کوټینګ هیڅ معلومات ندي چمتو شوي. د 260 درجو سانتي ګراد څخه ډیر غوښتنلیکونو لپاره، د غیر کوټ شوي سیرامیک پای اغیز کونکي سپارښتنه کیږي.*

دودیزول:

د ۱۵۰-۱۵۰۰ ملي میترو په اوږدوالي، د څنډې شکلونو (څنډه گرفت، برنولي، فلیټ)، د OEM انځور له مخې د نصب کولو فلانج نمونې کې شتون لري. جزوي پوښښ (یوازې د تماس ساحې) یا بشپړ پوښښ اختیاري.

د چپکولو او رګولو ازموینې لپاره د نمونې غوښتنه وکړئ.