د لوړ حرارت او پلازما چاپیریال لپاره د سیلیکون کاربایډ (SiC) پر بنسټ ویکیوم چک
د سینټ سیرا د SiC پر بنسټ سیرامیک چک د لوړ پاکوالي سیلیکون کاربایډ (بیچ S1111، SiC 99.72٪، وړیا Si 0.05٪) څخه جوړ شوی. دا د 449 MPa اندازه شوي انعطاف وړ ځواک، د 3.12 MPa·m¹/² د فریکچر سختۍ، او د 457 GPa لچک لرونکي ماډولس وړاندې کوي. د موادو عادي حرارتي چالکتیا (120–150 W/m·K) او ټیټ حرارتي توسع (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) د تودوخې سایکل چلولو پرمهال د تودوخې چټک ریمپینګ او لږترلږه ویفر وارپج فعالوي. چک د سوري ویکیوم چک (یونیفورم ګاز جریان) یا د نالی شوي معیاري چک په توګه تنظیم کیدی شي. د 1600–1700 ° C اعظمي کارونې تودوخې (هیڅ بار نشته) او استثنایی پلازما تخریب مقاومت سره، دا چک د لوړ تودوخې ویفر پروسس کولو (انیلینګ، RTP) او تیریدونکي ایچ چیمبرونو لپاره مثالی دی چیرې چې الومینا چکونه تخریب کیږي.
مشخصاتو(د چمتو شوي SiC S1111 ازموینې راپور او عادي ارزښتونو پراساس)):
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | سي سي (۹۹.۷۲٪ سي سي، ۰.۰۵٪ وړیا سي) |
| کثافت | ۳.۱۰–۳.۱۵ ګرامه/سانتي متره |
| د اوبو جذب | 0% |
| انعطاف منونکی ځواک | ۴۴۹ میګاپیکله |
| د فریکچر سختوالی | ۳.۱۲ MPa·m¹/² |
| لچک لرونکی ماډول | ۴۵۷ جي پي اې |
| د ویکرز سختۍ | ۲۵-۲۸ جي پي اې |
| د تودوخې چلښت | ۱۲۰–۱۵۰ واټ/متر·کیلو متر |
| CTE (۲۵-۱۰۰۰ درجو سانتي ګراد) | ۴.۰–۴.۵×۱۰⁻⁶/℃ |
| د اعظمي استعمال حرارت (نه بار) | ۱۶۰۰–۱۷۰۰ درجو سانتي ګراد |
| هواروالی (له ۳۰۰ ملي میتره څخه زیات) | ≤5 مایکرو متره |
| د سطحې پای | را ≤0.4 μm (په لپاسه) |
غوښتنلیکونه:
● د لوړې تودوخې چک کول (انیل کول، RTP، د اپیتیکسیل وده)
● د لوړ فلورین مقاومت سره د پلازما ایچ چک
● د نري ویفر اداره کول د یوشان تودوخې / یخولو سره
● د غیر تماس ویفر ملاتړ لپاره سوری چک
جوړول:
د SiC سینټرینګ → د فلیټنس او سطحې پروفایل دقیق پیس کول → اختیاري سوري جوړښت جوړښت (د ویکیوم چک لپاره) → لیپینګ → الټراسونک پاکول. هر چک د فلیټنس (لیزر انټرفیرومیټر) او ویکیوم یونیفورمیت (د جریان ازموینه) لپاره 100٪ معاینه کیږي.
د کیفیت کنټرول:
● د CMM ابعادي چک (قطر، ضخامت، د سوري موقعیتونه)
● د ASTM په اساس د فلیټنس اندازه کول
● د هیلیم لیک ازموینه (د ویکیوم چکونو لپاره)
● د هرې بستې د انعطاف وړ ځواک تصدیق (د ازموینې راپور ته مراجعه وکړئ)
د ایلومینا چکونو ګټې:
● لوړ حرارتي چالکتیا (۱۲۰-۱۵۰ د ایلومینا لپاره ۳۲ واټ/متر·کلومیټرو په مقابل کې) – ۴× ګړندی تودوخه لیږد
● ټیټ CTE (۴.۰ د ۷.۲×۱۰⁻⁶/℃ په مقابل کې) – د ویفر حرارتي فشار کموي
● د پلازما غوره مقاومت - په فلورین ایچ کې د 10 × اوږد ژوند
● د استعمال لوړه درجه (۱۶۰۰ درجو سانتی ګراد د المونیم لپاره ۸۰۰ درجو سانتی ګراد په مقابل کې)
دودیزول:
● سوری یا نالی شوی سطحه
● قطر ۱۰۰-۴۵۰ ملي متره، ګرد یا مربع
● د څنډې مهر کولو حلقه یا د زون خلا برخې
● د لوړ سختوالي د نصبولو لپاره د فلزي ملاتړ انتخاب
پورته ټول میخانیکي معلومات د چمتو شوي ازموینې راپور (بیچ S1111) څخه راځي. د تودوخې او سختۍ ارزښتونه د دې SiC درجې لپاره ځانګړي دي. د SiC چکونه اضافي پروسس ته اړتیا لري؛ مهرباني وکړئ د ځانګړي سوري او د سوري اندازې شتون لپاره پوښتنه وکړئ.
