د سیلیکون کاربایډ (SiC) سیرامیک پای اغیز کوونکی - د لوړې تودوخې ویفر اداره کولو لپاره لوړ سختی
د سینټ سیرا د SiC سیرامیک پای اغیز کوونکی د S1111 بیچ موادو په کارولو سره د لوړ پاکوالي سیلیکون کاربایډ (SiC مینځپانګه 99.72٪، وړیا Si 0.05٪) څخه جوړ شوی. دا استثنایی میخانیکي ځانګړتیاوې وړاندې کوي: انعطاف منونکی ځواک 449 MPa (اندازه شوی)، لچک لرونکی ماډول 457 GPa (اندازه شوی)، او د ویکرز سختۍ 25-28 GPa (معمولي). ټیټ کثافت (3.10-3.15 g/cm³، عادي) لوړ ځانګړی سختی چمتو کوي، د لوړ سرعت ویفر لیږد روبوټونو لپاره مثالی. د 120-150 W/m·K (معمولي) د تودوخې چالکتیا او د 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (معمولي) د تودوخې پراختیا کوفیفینټ سره، دا پای اغیز کوونکی په مؤثره توګه تودوخه تحلیلوي او د لوړې تودوخې اداره کولو پرمهال ابعادي ثبات ساتي (تر 1600-1700 ° C پورې، هیڅ بار نشته). تور/خړ رنګ او د اوبو صفر جذب د پاک خونې مطابقت ډاډمن کوي.
مشخصاتو(د چمتو شوي SiC S1111 ازموینې راپور او عادي ارزښتونو پراساس)):
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | سي سي (۹۹.۷۲٪ سي سي، ۰.۰۵٪ وړیا سي) |
| رنګ | تور / خړ |
| کثافت | ۳.۱۰–۳.۱۵ ګرامه/سانتي متره |
| د اوبو جذب | 0% |
| انعطاف منونکی ځواک | ۴۴۹ میګا پاسکل (اوسط) |
| د فریکچر سختوالی | ۳.۱۲ MPa·m¹/² (اوسط) |
| لچک لرونکی ماډول | ۴۵۷ جي پي اې |
| د ویکرز سختۍ | ۲۵-۲۸ جي پي اې |
| د تودوخې چلښت (۲۵ درجې سانتي ګراد) | ۱۲۰–۱۵۰ واټ/متر·کیلو متر |
| CTE (۲۵-۱۰۰۰ درجو سانتي ګراد) | ۴.۰–۴.۵×۱۰⁻⁶/℃ |
| د اعظمي استعمال حرارت (نه بار) | ۱۶۰۰–۱۷۰۰ درجو سانتي ګراد |
غوښتنلیکونه:
● د لوړې تودوخې ویفر اداره کول (د انیل وروسته، RTP، اپیټیکسي)
● د پلازما ایچ چیمبرونه چې د تخریب لوړ مقاومت ته اړتیا لري
● د لوړ سرعت لیږدونکي روبوټونه (سپک وزن، لوړ سختوالی)
جوړول:
د SiC پوډر سینټرینګ → د بازو پروفایل او نصب کولو ځانګړتیاو دقیق CNC پیس کول → د سطحې لیپ کول → الټراسونک پاکول. د ویکیوم غوښتنلیکونو لپاره 100٪ ابعادي تفتیش او د هیلیم لیک ازموینه.
د کیفیت کنټرول:
● د اوږدوالي، پلنوالي او همواروالي د CMM تفتیش
● د هر بیچ د انعطاف وړ ځواک ازموینه (د ازموینې راپور معیار سره سم)
● د سطحې نیمګړتیاوو لپاره د مایکروسکوپ لاندې بصري معاینه
د ایلومینا یا فلزاتو په پرتله ګټې:
● ۲× لوړ لچک لرونکی ماډول (۴۵۷ د ایلومینا لپاره ~۳۸۰ GPa په مقابل کې) – لږ انحراف
● 3 × لوړ حرارتي چالکتیا - د تودوخې چټک ضایع کول
● د هوا د تودوخې په پرتله د الومینا د 800 درجو سانتي ګراد څخه ډیر مقاومت کوي.
● د فولادو په پرتله ټیټ کثافت - د وزن 40٪ کمښت
دودیزول:
اوږدوالی ۱۵۰-۴۵۰ ملي متره، د څنډې شکلونه (د څنډې گرفت، برنولي، فلیټ)، د OEM انځور له مخې د نصب کولو فلانج نمونې.
*پورته ټول میخانیکي معلومات د چمتو شوي ازموینې راپور (بیچ S1111) څخه راځي. د تودوخې او سختۍ ارزښتونه د دې SiC درجې لپاره ځانګړي دي؛ مهرباني وکړئ د لاټ ځانګړي تصدیق لپاره موږ سره اړیکه ونیسئ.*
