د پلازما ایچ او CVD سیسټمونو لپاره د لوړ پاکوالي الومینا چیمبر فوکس حلقه

د سینټ سیرا د چیمبر فوکس حلقه د پروسې کټ یوه مهمه برخه ده چې د پلازما ایچ، CVD، او PVD سیمیکمډکټر تجهیزاتو کې کارول کیږي. د 99.8٪ لوړ پاکوالي الومینا (Al₂O₃) څخه جوړ شوی، حلقه د ویفر څنډه محاصره کوي ترڅو پلازما محدود کړي او د ایون زاویه ویش غوره کړي، په دې توګه د ویفر سطحې په اوږدو کې د ایچ یووالي ښه کوي. دا مواد استثنایی پلازما مقاومت، لوړ ډایالټریک ځواک (15×10⁶ V/m)، او تر 1600 ° C پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي، چې په تیریدونکي فلورین- یا کلورین- پر بنسټ پلازما چاپیریال کې اوږدمهاله اعتبار تضمینوي. دقیق ځمکني ID/OD او فلیټنس (≤10 μm) د ویفر څنډې دقیق موقعیت فعالوي، د څنډې نیمګړتیاوې او ذرې تولید کموي.

مشخصاتو(د 99.8٪ Al پر بنسټ₂O₃):

غوښتنلیکونه:

• · د ډایالټریک ایچ چیمبر فوکس حلقې (اکسایډ، نایټرایډ ایچ)
• · د سیلیکون ایچ چیمبر څنډې حلقې
• · د CVD چیمبر پروسس کټ حلقې
• · د PVD چیمبر شیلډ او کلیمپ حلقې

د تولید پروسه:

د لوړ پاکوالي ایلومینا پوډر په ایزوستاتیکي ډول فشار ورکول کیږي → شنه ماشین ته نږدې خالص شکل ته → په 1600 درجو سانتی ګراد کې سینټر شوی → د ID، OD، او ضخامت CNC الماس پیس کول → لیپ کول ترڅو فلیټنس ≤10 μm → الټراسونک پاکول → 100٪ CMM تفتیش ترلاسه کړي. د سطحې پای Ra ≤0.4 μm د ذراتو چپکولو کموي.

د کیفیت کنټرول:

• · ۱۰۰٪ ابعادي تفتیش (ID، OD، ضخامت، موازي والی)
• · د مایکرو درزونو لپاره د رنګ د ننوتلو ازموینه (د درزونو اجازه نشته)
• · د ۲۰ × مایکروسکوپ لاندې بصري معاینه - هیڅ چپس، تشې یا رنګ نه ورکول
• · د ASTM D149 (نمونې اخیستلو) له مخې د ډایالټریک ځواک ازموینه

د سیلیکون یا کوارټز فوکس حلقو په پرتله ګټې:

• · په فلورو کاربن پلازما کې د ژوند موده ۵-۱۰× اوږده وي
• · د ویفرونو د ککړولو لپاره د مصرف وړ تخریب ذرات نشته
• · لوړ ډایالټریک ځواک د آرک کولو مخه نیسي
• · د زرګونو RF ساعتونو په اوږدو کې فلیټ او ابعادي دقت ساتي

بدیل مواد — یټریا-ثابت شوی زیرکونیا (ZrO₂):

د هغو غوښتنلیکونو لپاره چې د فریکچر لوړ سختوالي ته اړتیا لري (د بیلګې په توګه، د بار بار تودوخې سایکل چلولو یا میخانیکي شاک سره چیمبرونه)، د ZrO₂ فوکس حلقې (کثافت 6.03 g/cm³، انعطاف منونکی ځواک 1000 MPa، د فریکچر سختوالي 5-8 MPa·m¹/²) شتون لري. په هرصورت، الومینا غوره لګښت اغیزمنتوب وړاندې کوي او د ډیری فوکس حلقې غوښتنلیکونو لپاره د صنعت معیار دی.

دودیزول:

• · د پیرودونکو د انځور لپاره د ګامونو پروفایلونه، کاونټربورونه، یا د نصب کولو سوري
• · د پلازما د تخریب مقاومت لپاره د Y₂O₃ پوښښ (ضخامت 20-100 μm)
• · د برخې شمېره، د نیټې کوډ، یا د سمون نښانونو لیزر نښه کول

یادونه:ټول معلومات په کلکه د چمتو شوي Al₂O₃ ملکیت جدول تعقیبوي. د ZrO₂ مشخصاتو لپاره، چمتو شوي زیرکونیا ډیټا شیټ ته مراجعه وکړئ. د فوکس حلقې ډیزاین ممکن د پیټینټ تصفیې ته اړتیا ولري - پیرودونکي د فکري ملکیت حقونو تصدیق کولو مسؤلیت لري.