د برنولي سیرامیک پای اغیز کوونکی - د پتلو او نازکو ویفرونو لپاره د غیر تماس ویفر اداره کول

د سینټ سیرا برنولي سیرامیک پای اغیز کوونکی د فزیکي تماس پرته د ویفرونو اداره کولو لپاره ایروډینامیک لفټ کاروي. د لوړ پاکوالي 99.8٪ ایلومینا (Al₂O₃) یا سیلیکون کاربایډ (SiC) څخه جوړ شوی، دا دقیق ماشین شوي نوزلونه لري چې فشار شوي ګاز خارجوي ترڅو د پای اغیز کوونکی او ویفر ترمنځ یو پتلی هوایی فلم رامینځته کړي. دا غیر تماس اصل د شا ککړتیا، د څنډې چپ کول، او د سطحې زیان له منځه وړي، دا د پتلو (≤100 μm)، نازک، یا خراب شوي ویفرونو لپاره مثالی کوي. د سیرامیک سبسټریټ لوړ انعطاف وړ ځواک (د Al₂O₃ لپاره 361 MPa؛ د SiC لپاره تر 550-600 MPa پورې)، ټیټ ډله، او غوره ابعادي ثبات چمتو کوي، د لوړ سرعت ویفر لیږد روبوټونو کې د تکرار وړ موقعیت ډاډمن کوي.

د موادو په اړه یادونه:الومینا (Al₂O₃) د سیرامیک پای اغیز کونکو لپاره د سیمیکمډکټر ویفر اداره کولو کې ترټولو پراخه کارول شوی مواد دی ځکه چې د سختۍ، بریښنایی موصلیت، کیمیاوي ثبات، او لګښت اغیزمنتوب غوره ترکیب لري. سیلیکون کاربایډ (SiC) د خورا تقاضا غوښتنلیکونو لپاره لوړ حرارتي چالکتیا، لوړ سختۍ، او حتی غوره اغوستلو مقاومت وړاندې کوي. پداسې حال کې چې د یټریا ثبات لرونکي زیرکونیا (ZrO₂) د خونې په تودوخه کې لوړ فریکچر سختۍ وړاندې کوي، دا د لوړ کثافت او مختلف حرارتي پراختیا ځانګړتیاو له امله پدې غوښتنلیک کې لږ کارول کیږي؛ دا ممکن د ځانګړو سناریوګانو لپاره په پام کې ونیول شي چیرې چې استثنایی فریکچر سختۍ ته اړتیا وي. مهرباني وکړئ د موادو انتخاب لارښوونې لپاره زموږ تخنیکي ټیم سره مشوره وکړئ.

مشخصاتو(د 99.8٪ Al پر بنسټ₂O₃):

د عملیاتو اصل:

فشار شوی هوا یا نایتروجن (0.2-0.6 MPa) د داخلي چینلونو له لارې ورکول کیږي او د دقیق نوزلونو له لارې بهر کیږي. ګړندی شوی هوا جریان د پای اغیز کونکي (برنولي اغیز) څخه پورته د ټیټ فشار زون رامینځته کوي، د پورته کولو ځواک رامینځته کوي چې د 50-200 μm په تشه کې د ویفر ملاتړ کوي. هیڅ ویکیوم سوري یا پیډونه د ویفر شاته اړخ سره اړیکه نلري.

غوښتنلیکونه:

• · د شاته برخې د ګرینډ کولو وروسته د نری ویفر (≤50 μm) اداره کول
• · د تاو شوي ویفر لیږد (د مثال په توګه، د CVD یا انیل کولو وروسته)
• · د لمریز حجرو او LED نیلم سبسټریټ لیږد
• · د پاکې خونې اتومات کول چې صفر ذرې تولید ته اړتیا لري
• · د نندارې په تولید کې د شیشې تختې اداره کول

د تولید پروسه:

د لوړ پاکوالي پوډر → د ګاز چینلونو او نوزل ​​سوریو د 5 محور CNC ماشین کولو څخه سینټر شوی سیرامیک سبسټریټ (قطر 0.3–1.0 ملي میتر، زغم ±0.01 ملي میتر) → د سطحې لیپینګ تر Ra ≤0.4 μm → الټراسونک پاکول → د هیلیم لیک ازموینه (د ګاز چینلونه). هیڅ پوښ ته اړتیا نشته - د سیرامیک خالي سطح په کیمیاوي ډول غیر فعال او غیر ککړونکی دی.

د کیفیت کنټرول:

• · د نوزل ​​موقعیتونو، د لاس اوږدوالی، او فلیټوالي ۱۰۰٪ ابعادي تفتیش (CMM)
• · د هوا د جریان د یووالي ازموینه: په ټولو نوزلونو کې د فشار کمښت ≤5٪
• · د لیک ازموینه: د ګاز چینلونه په 0.6 MPa کې مهر شوي، د 30 ثانیو څخه زیات د فشار کمښت نشته
• · د کوچنیو درزونو یا درزونو لپاره د 20× مایکروسکوپ لاندې بصري معاینه

Aد دودیزو اړیکو د پای اغیزو په پرتله ګټې:

• · د ویفر شاته ککړتیا صفر ده — هیڅ میخانیکي تماس نشته
• · د پتلو ویفرونو د څنډې چپه کیدل یا ماتیدل نشته
• · د باثباته تشې سره د تاو شوي ویفرونو (تر 1 ملي میتر پورې) سمبالوي
• · د ویکیوم جنراتور او سوري چک ساتنه له منځه وړي
• · د سیرامیک جوړښت د اغوستلو او کیمیاوي برید په وړاندې مقاومت کوي

دودیزول:

• · د ۲۰۰ ملي میتر، ۳۰۰ ملي میتر، یا د ځانګړو ویفر اندازو لپاره شتون لري
• · د ګازو د نوزل ​​نمونې: مستقیم، زاویه لرونکی، یا د ورټیکس ډولونه
• · مواد: ایلومینا (معیاري) یا سیلیکون کاربایډ (د لوړې تودوخې چلولو او د اغوستلو مقاومت لپاره)
• · د OEM انځور له مخې د بازو اوږدوالی، د نصب کولو فلانج، او د ګاز بندر موقعیت

محدودیتونه:

د برنولي د اصل پلي کول (د نوزل ​​ډیزاین، د هوا تشه) د چمتو شوي موادو د ملکیت جدولونو له ساحې څخه بهر دي. پورته میخانیکي او حرارتي ملکیتونه په کلکه د 99.8٪ Al₂O₃ لپاره چمتو شوي ډیټا شیټونو تعقیبوي. د دې موادو ملکیتونو پراساس د فشار شوي ګاز جریان لاندې د سیرامیک د فعالیت تخریب تمه نه کیږي. د ګاز جریان سره حساس ویفرونو لپاره (د مثال په توګه، د نازک جوړښتونو سره MEMS)، د ګاز فشار او نوزل ​​ډیزاین باید د مطابق مطابق تنظیم شي.