-
د ویفر اداره کولو لپاره د لوړ پاکوالي ایلومینا سیرامیک روبوټ بازو
د سینټ سیرا د ایلومینا سیرامیک روبوټ بازو د 99.8٪ لوړ پاکوالي Al₂O₃ (ایلومینا) څخه دقیق انجینر شوی دی. دا استثنایی انعطاف منونکی ځواک (361 MPa)، لوړ سختۍ (16 GPa)، او ټیټ کثافت (3.93 g/cm³) سره یوځای کوي، چې پایله یې د سیمیکمډکټر ویفر لیږد لپاره یو سپک مګر سخت بازو دی. د موادو د تودوخې پراختیا کوفیفینټ (7.2×10⁻⁶/°C) د سیلیکون سره نږدې سمون لري، د پروسس کولو پرمهال د تودوخې بې اتفاقي کموي.
-
د برنولي سیرامیک پای اغیز کوونکی - د پتلو او نازکو ویفرونو لپاره د غیر تماس ویفر اداره کول
د سینټ سیرا برنولي سیرامیک پای اغیز کوونکی د فزیکي تماس پرته د ویفرونو اداره کولو لپاره ایروډینامیک لفټ کاروي. د لوړ پاکوالي 99.8٪ ایلومینا (Al₂O₃) یا سیلیکون کاربایډ (SiC) څخه جوړ شوی، دا دقیق ماشین شوي نوزلونه لري چې فشار شوي ګاز خارجوي ترڅو د پای اغیز کوونکی او ویفر ترمنځ یو پتلی هوایی فلم رامینځته کړي. دا غیر تماس اصل د شا ککړتیا، د څنډې چپ کول، او د سطحې زیان له منځه وړي، دا د پتلو (≤100 μm)، نازک، یا خراب شوي ویفرونو لپاره مثالی کوي. د سیرامیک سبسټریټ لوړ انعطاف وړ ځواک (د Al₂O₃ لپاره 361 MPa؛ د SiC لپاره تر 550-600 MPa پورې)، ټیټ ډله، او غوره ابعادي ثبات چمتو کوي، د لوړ سرعت ویفر لیږد روبوټونو کې د تکرار وړ موقعیت ډاډمن کوي.
-
د ټیفلون پوښل شوی سیرامیک پای اغیز کوونکی - د حساس ویفر اداره کولو لپاره غیر چپکونکی سطح
د سینټ سیرا ټیفلون (PTFE) پوښل شوی سیرامیک پای اغیز کوونکی د لوړ ځواک الومینا سبسټریټ د یونیفورم، ټیټ رګ PTFE پوښ سره یوځای کوي (ضخامت 15-30 μm). دا پوښ د رګیدو خورا ټیټ ضخامت (≤0.1)، غوره کیمیاوي مقاومت، او غیر چپکونکي ملکیتونه چمتو کوي، د ویفر چپکولو مخه نیسي او د شا ککړتیا له منځه وړي. د سیرامیک لاندې سبسټریټ (99.8٪ Al₂O₃) لوړ انعطاف ځواک (361-1000 MPa)، د اغوستلو مقاومت، او تر 260 درجو سانتي ګراد پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي (د کوټینګ حد). دا پای اغیز کوونکی د نازک، پتلي، یا چپکونکي ویفرونو اداره کولو لپاره مثالی دی (د مثال په توګه، د فوتوریزیسټ کوټینګ یا کیمیاوي پروسو وروسته).
