د پتلي ویفر اداره کولو لپاره د ایلومینا پر بنسټ مسام لرونکي سیرامیک ویکیوم چک
د سینټ سیرا د ایلومینا پر بنسټ سوري چک د 99.6٪ لوړ پاکوالي Al₂O₃ څخه جوړ شوی چې د 30-45٪ کنټرول شوي خلاص سوري او د 10 څخه تر 50 μm پورې یونیفورم سوري اندازه لري. د نالی شوي چکونو برعکس، سوري سطح د ټول ویفر شاته برخه کې ویشل شوی خلا چمتو کوي، د څنډې نښه کول له منځه وړي او د الټرا پتلي (≤100 μm) یا تاو شوي ویفرونو نرم ساتلو ته اجازه ورکوي. دا مواد د ≥250 MPa انعطاف وړ ځواک او په هوا کې تر 400 ° C پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي.
مشخصاتو(د 99.6٪ Al پر بنسټ₂O₃):
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | ۹۹.۶٪ الومینا (سپین) |
| سوروالی | ۳۰-۴۵٪ (د تنظیم وړ) |
| د سوري منځنۍ اندازه | ۱۰-۵۰ مایکرو متره |
| انعطاف منونکی ځواک | ≥۲۵۰ MPa |
| کثافت | ۳.۸۸ ګرامه/سانتي متره |
| هواروالی (له ۲۰۰ ملي میتر څخه زیات) | ≤5 مایکرو متره |
| اعظمي عملیاتي تودوخه | ۴۰۰ درجې سانتي ګراد (هوا) |
| د سطحې پای | لپ شوی (Ra ≤0.8 μm) |
غوښتنلیکونه:
- · نری ویفر (≤50 μm) د شا له خوا پیس کول
- · د ټوټې کولو لپاره د تاو شوي ویفر نصب کول
- · د واحد ډای پیک اپ
- · د شیشې سبسټریټ اداره کول
جوړول:
پوډر د سوري فارمرونو سره مخلوط شوی → ایزوسټاټیک فشار ورکول → په 1600 درجو سانتی ګراد کې سینټر کول → وروستي ضخامت ته لیپ کول. هر چک د ویکیوم یونیفورم (د فشار انحراف <5٪) لپاره د جریان ازموینه کیږي او د سوري اندازې ویش (SEM) لپاره معاینه کیږي.
د دودیزو چکونو په پرتله ګټې:
- · د ویفر شاته نښه کول یا د مرۍ بدلون نشته
- · تر ۵۰۰ مایکرو مترو پورې د کمان سره ویفرونه ساتي
- · د ځان پاکولو سطحه (سوراخونه د بندیدو په وړاندې مقاومت لري)
- · یونیفورم ملاتړ سیمه ایز فشار له منځه وړي
Cدودیز کول:
ګرد یا مربع شکلونه، قطر یې ۱۰۰-۴۵۰ ملي متره دی. د زون شوي ویکیوم کنټرول لپاره د څنډې سیل کولو حلقه شتون لري.
د خپل ځانګړي ویفر اندازې لپاره د نمونې غوښتنه وکړئ.










