د وارپډ او پتلي ویفر اداره کولو لپاره د فلزي ملاتړ شوي مسام لرونکي SiC ویکیوم چک

د سینټ سیرا د فلزي پر بنسټ د سیرامیک ویکیوم چک د مسام لرونکي سیلیکون کاربایډ (SiC) سیرامیک طبقه د دقیق ماشین شوي فلزي اساس (المونیم یا سټینلیس سټیل) سره یوځای کوي. مسام لرونکي SiC مواد (نیلي-تور، مسام لرونکي 35-40٪، د مسام لرونکي اندازه 20-30 μm، د نفوذ 60 ملی لیتر/cm²· دقیقه) د ټول ویفر سطحې په اوږدو کې یونیفورم، نرم ویکیوم ویش چمتو کوي، د څنډې نښه کول له منځه وړي او د پتلو (≤100 μm) یا تاو شوي ویفرونو لپاره د غیر تماس ملاتړ فعالوي. د SiC طبقه ټیټ حرارتي توسع (3.5×10⁻⁶/℃)، تر 1000°C پورې حرارتي ثبات، او منځنۍ انعطاف وړ ځواک (32-35 MPa) وړاندې کوي. د فلزي اساس ساختماني سختۍ، د تار شوي سوري له لارې اسانه نصب کول، او د ماتیدونکي فریکچر په وړاندې محافظت اضافه کوي. دا چک د شاته غاړې پیس کولو، ډایس کولو، او د لوړ تودوخې ویفر پروسس کولو لپاره مثالی دی چیرې چې یونیفورم ویکیوم او حرارتي مطابقت مهم دی.

مشخصات (د چمتو شوي سوري SiC معلوماتو پراساس):

یادونه: د انعطاف وړ ځواک د سوري له امله د کثافت SiC په پرتله ټیټ دی. د فلزي اساس ځانګړتیاوې د سیرامیک میزونو څخه ندي.

غوښتنلیکونه:

• · د نري ویفرونو شاته پیس کول (≤100 μm)
• · د ټوټې کولو لپاره د تاو شوي ویفر نصب کول
• · د لوړې تودوخې ویفر چک کول (تر ۱۰۰۰ درجو سانتي ګراد پورې)
• · د سوري یا نازکو سبسټریټ لپاره د ویکیوم فکسچر کول

جوړول:

د سوري لرونکي SiC پلیټ (د سوري جوړونکو سره جوړ شوی، سینټر شوی) → د ≤10 μm په فلیټ کولو سره لپ شوی → د فلزي اساس د ویکیوم پورټونو او نصب کولو ځانګړتیاو سره ماشین شوی → ایپوکسی بانډینګ یا میخانیکي کلیمپینګ → د هیلیم لیک ازموینه.

د کیفیت کنټرول:

• · د سوریو او سوریو اندازه د SEM لخوا تایید شوې
• · د نفوذ وړتیا ازموینه (د هوا جریان)
• · د لیزر انټرفیرومیټر په واسطه اندازه شوی فلیټنس
• · د هیلیم د لیکیدو کچه <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

د نښتي یا ګڼ سیرامیک چکونو په پرتله ګټې:

• · د ویفر نښه کول نشته - د جلا سوریو پرته یونیفورم ویکیوم
• · د سوریو ځان پاکول - د بندیدو کمول
• · د تاو شوي ویفرونو اداره کوي (تر 500 μm پورې کمان)
• · فلزي اساس د ماتیدونکي ماتیدو مخه نیسي او ادغام ساده کوي

محدودیتونه:

• · د انعطاف ټیټ قوت (۳۲-۳۵ MPa) - د اغیزو بارولو څخه مخنیوی وکړئ
• · د عملیاتي تودوخې درجه تر ۱۰۰۰ درجو سانتي ګراد پورې محدوده ده (سوراخ SiC)، مګر د فلزي اساس ایپوکسی بانډ تر ۲۰۰ درجو سانتي ګراد پورې محدود دی پرته لدې چې په میخانیکي ډول بند شي
• · د لوړ فشار ویکیوم لپاره نه (سوراخ جوړښت د ویکیوم اعظمي توپیر محدودوي)

دودیزول:

• · فلزي اساس: المونیم (رڼا)، سټینلیس سټیل (د زنګ په وړاندې مقاومت لرونکی)، انور (ټیټ انفجار)
• · تړل: ایپوکسی (≤200°C) یا میخانیکي کلمپ (تر 500°C پورې)
• د زون ویکیوم کنټرول لپاره د څنډې سیل کولو حلقه

مهرباني وکړئ په یاد ولرئ: چمتو شوي انعطاف وړ ځواک (32-35 MPa) د سوري له امله د غليظ سیرامیکونو په پرتله د پام وړ ټیټ دی. د څنډې د چپه کیدو څخه مخنیوي لپاره په احتیاط سره لاس په کار شئ.