د فزیکي بخار زیرمه کولو سیسټمونو لپاره د الومینا PVD موصلیت حلقه
د سینټ سیرا د PVD موصلیت حلقه د فزیکي بخار زیرمو (PVD) سیسټمونو کې د کارولو لپاره د 99.8٪ لوړ پاکوالي ایلومینا (Al₂O₃) څخه جوړه شوې ده. دا حلقه د چیمبر اجزاو ترمنځ بریښنایی انزوا چمتو کوي، د آرک کولو مخه نیسي او د پلازما مستحکم عملیات ډاډمن کوي. کلیدي ملکیتونه لوړ ډایالټریک ځواک (15×10⁶ V/m)، ځانګړی مقاومت> 10¹⁴ Ω·mm²/m، او تر 1600°C پورې حرارتي ثبات شامل دي. زموږ د دقیق ماشین کولو وړتیاوې تر 600mm پورې بهرني قطر، تر 0.2mm پورې داخلي قطر، د 0.003mm فلیټنس، او د سطحې پای Ra0.1 ترلاسه کوي. د حلقې صفر پورسیت او کیمیاوي غیر فعالتیا په تیریدونکي سپټرینګ چاپیریال کې د اوږدې مودې اعتبار تضمینوي.
مشخصات (د 99.8٪ Al پر بنسټ)₂O₃او د سینټ سیرا د تولید وړتیاوې):
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | ۹۹.۸٪ الومینا (عاج) |
| کثافت | ۳.۹۳ ګرامه/سانتي متره |
| انعطاف منونکی ځواک | ۳۶۱ میګاپیکله |
| د ویکرز سختۍ | ۱۶ جي پي اې |
| ډایالټریک ځواک | ۱۵×۱۰⁶ وولټ/متر |
| ځانګړی مقاومت | >۱۰¹⁴ Ω·ملي متره/متر |
| اعظمي بهرنۍ قطر | ۶۰۰ ملي متره |
| لږ تر لږه داخلي قطر | ۰.۲ ملي متره |
| اعظمي ضخامت | ۱۰۰ ملي متره |
| هوارتیا | 0.003 ملي متره |
| موازيتوب | 0.002 ملي متره |
| د سطحې پای | د 0.1 په اړه |
| اعظمي عملیاتي تودوخه | ۱۶۰۰ درجې سانتي ګراد |
غوښتنلیکونه:
- · په PVD سیسټمونو کې د هدف ملاتړ پلیټ انسولټرونه
- · د چیمبر فیډټرو انسولټرونه
- · د سپټرینګ سیسټمونو کې د شیلډ حلقوي انسولټرونه
- · په پلازما چیمبرونو کې د لوړ ولټاژ جلا کول
د تولید دقت:
متمرکزیت: 0.01 ملي متره، ګردوالی: 0.002 ملي متره، مستقیمیت: 0.005 ملي متره، عمودي: 0.005 ملي متره، د CMM لخوا تایید شوی.
Aد پولیمر انسولټرونو ګټې:
- · د پولیمر د <300°C حد په پرتله د 1600°C مقاومت کوي
- · هیڅ ګاز نه خپروي - د خلا بشپړتیا ساتي
- · د پلازما تخریب او کیمیاوي برید په وړاندې مقاومت کوي
دودیزول:
دودیز کراس برخې، د نصب کولو ځانګړتیاوې، د ګام پروفایلونه، او ډیری متمرکز حلقوي ډیزاینونه شتون لري.








