د مدغم ویکیوم چینلونو سره د ایلومینا سیرامیک پای اغیز کوونکی
د سینټ سیرا د ایلومینا ویکیوم پای اغیز کوونکی د دقیق ماشین شوي ویکیوم چینلونه او سکشن سوري په مستقیم ډول د 99.8٪ لوړ پاکوالي ایلومینا بدن کې مدغم کوي. دا ډیزاین بهرني ویکیوم پیډونه له مینځه وړي، د یونیفورم ساتلو ځواک سره مستقیم ویفر راټولولو ته اجازه ورکوي. د موادو لوړ انعطاف ځواک (361 MPa) او سختۍ (16 GPa) د تکراري ویکیوم دورې لاندې اوږدمهاله ابعادي ثبات تضمینوي. د پیډ ساحې په اوږدو کې فلیټنس د 10 μm دننه ساتل کیږي، د ویفر فشار او ماتیدو مخه نیسي. ویکیوم پورټونه د OEM روبوټ وسلو سره د اسانه ادغام لپاره د شا نصب کولو فلینج کې موقعیت لري.
مشخصاتو(د ۹۹.۸٪ Al₂O₃ پر بنسټ):
| ملکیت | ارزښت |
| د موادو | ۹۹.۸٪ الومینا (عاج) |
| کثافت | ۳.۹۳ ګرامه/سانتي متره |
| انعطاف منونکی ځواک | ۳۶۱ میګاپیکله |
| د ویکرز سختۍ | ۱۶ جي پي اې |
| د ځوان ماډول | ۳۸۰ جي پي اې |
| د تودوخې پراختیا | ۷.۲×۱۰⁻⁶/℃ |
| د پیډ فلیټنس | ≤۱۰ مایکرو متره |
| د ویکیوم چینل پلنوالی | ۰.۵–۲.۰ ملي متره |
| اعظمي عملیاتي تودوخه | ۸۰۰ درجې سانتي ګراد |
غوښتنلیکونه:
● د نري یا تاو شوي ویفرونو ویکیوم راټولول
● د څنډې د نیولو پرته د ویفر مستقیم اداره کول
● د لمریز حجرو او LED سبسټریټ لیږد
جوړول:
د سینټر شوي ایلومینا خالي → د ویکیوم چینلونو او سوریو 5 محور CNC برمه کول → د سطحې لیپ کول → الټراسونیک پاکول → د هیلیم لیک ازموینه. هر انفیکټر د ویکیوم یووالي لپاره 100٪ جریان ازمول شوی.
ګټې:
● هیڅ بهرنۍ خلا پیډ نشته (د ذراتو سرچینې کموي)
● د یونیفورم ساتلو فشار د ویفر نښه کولو مخه نیسي
● په کیمیاوي لحاظ غیر فعال او پاک خونه مطابقت لري
